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智能天車系統助力晶圓"智"造
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智能天車系統：推動晶圓制造邁向智能化
半導體制造業的皇冠明珠——晶圓制造，早已在上世紀90年代實現了"黑燈工廠"的生產模式。這一成就離不開以天車（OHT）為核心的自動物料搬運系統（AMHS）。作為貫穿整個半導體制造流程的關鍵系統，AMHS堪稱產業的血液。
長期以來，全球AMHS市場主要由日本企業主導，占據超過90%的市場份額。這種壟斷格局在2023年出現了變化——日本將天車關鍵零部件納入出口管制清單，這一舉措凸顯了發展本土AMHS技術的重要性與緊迫性。
位于上海臨港的彌費科技展示廳內，一條長達2公里的高低起伏軌道引人注目。在這條軌道上，數十輛小車如靈活的小機器人般穿梭自如，精準完成晶圓盒的操作動作。整個系統巧妙地安裝在展廳頂部，展現出獨特的視覺效果。
作為國內領先的AMHS解決方案提供商，彌費科技致力于推動晶圓制造的智能化進程。其自主研發的"SkySAIL"天車系統融合了多項創新技術，在性能和可靠性方面達到國際領先水平。
公司成立至今已累計獲得授權專利100余項，主持起草了《半導體天車傳送系統通用技術要求》等團體標準。在國際化方面，已在海外布局專利60余項，并通過20余項國際認證。
市場表現方面，公司在細分領域展現出強大的競爭力。國內市場占有率超過70%，并已成功實現12英寸晶圓廠整線交付的突破。公司計劃未來三年內進入全球前三甲的發展目標。
面對第三代半導體和先進封裝領域的旺盛需求，結合傳送、存儲、凈化設備及智能調度軟件的全棧技術優勢，彌費科技正在迎來快速增長期。
展望未來，隨著12英寸晶圓產能擴張和工廠自動化水平提升，AMHS市場將保持穩定增長。預計到2025年，全球市場規模將達到37億美元，中國市場規模也將突破11億美元。
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